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    渦旋式真空泵的工作原理
    渦旋式真空泵的原理圖
    渦旋式真空泵工作原理圖

    渦旋式泵主要包括左定子、右定子、轉子、曲軸、防自轉機構、進氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉子組成的月

    牙腔內壓縮,渦旋定子固定在機架的周邊上,在渦旋定子的周邊上開有吸氣口,在轉子和定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋轉

    子隨著曲軸的回轉以偏心量作為半徑繞定子中心做公轉運動。在渦旋轉子還受防自傳結構的約束,不能自傳,始終保持著一種固

    定的姿勢,其中心繞渦旋定子中心作半徑為R的圓周運動。

    渦旋式真空泵運轉的時候,兩個渦旋定子和渦旋轉子的渦線基本相同,只要將兩者的相位錯開180°,并且各自中心保持相聚R即

    可組合而成。結果在兩個渦旋體之間形成了一系列月牙形壓縮腔。渦旋轉子中心每回轉90°按順時針方向做圓周運動,吸氣結束

    后,渦旋體外圓周的壓縮室出于關閉狀態。由此可以設想壓縮機結構式壓縮腔一面向中心處移動,壓縮腔的容積一面逐漸變小。

    一個壓縮腔從吸氣,經壓縮,最后排氣的全過程。

    為了減輕泵渦旋體的重量,其基材用鋁,在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯,以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相

    鄰工作腔的壓差小 , 故氣體泄露量小 , 泵的驅動轉矩變化小,因此泵的噪昔低、振動小。

    該泵特點是重量輕、體積小,為臥式結構,可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ,是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。



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