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    羅茨泵的抽速與極限壓力


    羅茨泵是一種容積泵,它的抽速和極限壓力,對各種氣體是不變的。對抽除分子量比氮氣低得氣體(He和H2)時,間隙泄漏量稍

    有增加就會引起抽速稍有下降。

    在入口壓力為1-0.1hPa范圍內有最大抽速,在較高眼里和降低壓力時,由于返流作用較大些,故抽速在此兩者情況下稍微有些下

    降。羅茨泵抽氣腔內史干燥無油的,故抽氣曲線對應的壓力時全壓力。

    羅茨泵機組的極限全壓力與選擇的前級泵種類有關。一般為0.001hPa,它受前級泵泵油的蒸汽壓力,以及齒輪箱、軸承處潤滑油

    的蒸汽壓力的影響。

    羅茨泵上有油的空間要同前級真空側相連通,由齒輪和軸承負荷引起的油劣化物被前級泵抽除而對羅茨泵入口處無影響。在較高

    壓力下工作時,較高的壓力差會將油通過軸封處而進入被抽空間去。為了避免這種現象發生,可將含油的空間另設小真空泵抽空

    ,以保證泵腔內的清潔。

    羅茨泵的潤滑油通常使用機械泵油或低蒸汽壓力的擴散泵油。使用擴散泵油在低負荷下市適當的。

    在液環泵作為羅茨泵的前級泵時,羅茨泵的抽速和極限壓力,取決于液環泵使用的液體。水式通用的工作液體,水環泵的極限壓

    力為20-30hPa,它取決于供水的溫度。羅茨泵機組的極限壓力可達到1hPa,它是水環泵來的水蒸氣所決定的。若使用帶氣體噴射

    器的前級泵時羅茨泵機組的極限壓力為0.1hPa。因為氣體噴射器的運行,對水蒸氣的返流有個阻擋作用。

    一般來說,用一臺羅茨泵與單級前級泵組成為機組的情況較多,但要求有更低的艱險壓力和更高的抽速時,常用多臺羅茨泵串聯

    后再加前級泵組成機組。


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