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    真空工藝在應用中的要求

    所謂常規真空工藝系指沒有特殊請求的真空工藝過程,這類真空安裝(設備)對真空衛生的請求:

    (1)但凡處于真空中的真空設備零件,都請求無積存的污染源,外表無塵埃,無鐵屑、無銹蝕;

    (2 )真空設備的真空室外表要潤滑、無松軟組織和氣孔、無內焊縫等影響真空的缺陷;

    (3 )高真空設備中,真空室內的運動部件不得用機油作光滑劑,要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作光滑劑;法蘭、察看窗的密封部件要涂以高真空油脂;

    (4)真空設備普通應在溫度為15~30℃,相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作,冷卻水進水溫度不高于25 ℃。

    電真空工藝對環境的請求

    電真空構造資料除具有良好的機械性能和加工性能外,還要滿足其他性能的請求,即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩

    定性、一定的純度和清潔度、適宜的輻射才能等。所以電真空工藝具有特殊性,對清潔處置請求是極為嚴厲的,應最大限度肅清

    或減少零件的污染。

    真空鍍膜工藝對環境的請求

    真空鍍膜工藝襯底(基片)外表的清潔處置很重要,基片進入鍍膜室前均應停止認真的鍍前清潔處置,到達工件去油、去污和脫

    水的目的;獗砦廴緛碜粤慵诩庸、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、拋光膏、油脂、汗漬等物;零件外表在濕潤空氣

    中生成的氧化膜;零件外表吸收和吸附的氣體。這些污物根本上均可采用去油或化學清洗辦法將其去掉。


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