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    鈦升華泵

    一些過度族的金屬和難熔金屬(鈦、鉭、鈮、鉬、鎢),在一定的溫度范圍內,對活性氣體有很好的吸附和吸收性能。在真空條

    件下,用電阻加熱或電子轟擊加熱的方法,可以將這些金屬蒸發沉積在器壁上,形成一層薄膜,用來對活性氣體進行吸附。上述

    各種材料中,鉭的吸氣性能最好,但它的蒸發溫度過高,加熱元件容易損壞。鋯難以蒸發,抽氫性能不如鈦、鉭、鉬優良。在室

    溫下,鈮膜抽氣性能不如鈦,但低溫性能好。由于鈦的價格便宜,易于蒸發,而且抽氣性能和工藝性能較好,因此,目前經常采

    用鈦作為升華泵的吸氣材料。

    利用加熱的方法升華鈦并使其沉積在一個冷卻的表面上,對氣體進行薄膜吸附的抽氣裝置,稱為鈦升華泵。鈦升華泵和其他真空

    泵相比,有如下優點:

    1)抽速大。新鮮鈦膜在液氮溫度下,對氮的抽速可達10.1L/(cm2·S),對氮的抽速可達19.9L/(cm2·s)。

    2)極限真空度?蛇_10-10Pa。

    3)在超高真空狀態下,泵的抽速隨著壓力的降低而增大,這時泵的抽速主要受泵口流導的限制。

    4)可獲得清潔的真空。

    5)結構簡單,運轉費用低。其主要缺點是對惰性氣體的抽速小,因此常與其他類型泵搭配使用。




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